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    產品展示

    高純BOE溶液技術要求

    質量標準:

    項目

    指標

    UP-S級

    UP-SS級

    氟化銨(NH4F)含量/% ≤

    36.4±1.0

    40.0±1.0

    氫氟酸含量(HF)含量/% ≤

    4.8±0.5

    4.8±0.5

    色度/Hazen ≤

    5

    5

    氯化物(以Cl計) w/(mg/kg)    ≤

    3

    0.1

    硝酸鹽(以NO3計) w/(mg/kg)    ≤

    3

    0.1

    磷酸鹽(以PO4計)  w/(mg/kg)    ≤

    1

    0.1

    硫酸鹽(以SO4計) w/(mg/kg)    ≤

    3

    0.2

    鋁(Al)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    砷(As)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    硼(B)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鋇(Ba)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鈣(Ca)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鎘(Cd)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鉻(Cr)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    銅(Cu)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鐵(Fe)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鉀(K)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鋰(Li)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鎂(Mg)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    錳(Mn)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鈉(Na)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鎳(Ni)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鉛(Pb)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    銻(Sb)/(μg/kg)  ≤

    1

    0.1

    錫(Sn)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鈦(Ti)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    釩(V)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    鋅(Zn)/(μg/kg) ≤

    1

    0.1

    顆粒

    (≥1.0μm)/(個/mL) ≤

    30

     

    (≥0.5μm)/(個/mL) ≤

    -

    30

    注:氟化銨與氫氟酸含量可按客戶需求的比例進行配置

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