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    產品展示

    電子級無水氟化氫

    質量標準:

    分子式:HF          分子量:20.01

    序號

    項目

    單位

    規格值

    1

    氫氟酸 (HF)

    wt%

    ≥99.999

    2

    氯化物(Cl)

    ppb

    ≤100

    3

    硝酸鹽 (NO3)

    ppb

    ≤100

    4

    磷酸鹽(PO4

    ppb

    ≤100

    5

    硫酸鹽(SO4

    ppb

    ≤100

    6

    硅(Si)

    ppb

    ≤100

    7

    鐵(Fe)

    ppb

    ≤50

    8

    鎳(Ni)

    ppb

    ≤50

    9

    鉻(Cr)

    ppb

    ≤50

    10

    銅(Cu)

    ppb

    ≤50

    11

    鈉(Na)

    ppb

    ≤50

    12

    鈣(Ca)

    ppb

    ≤50

    性狀:
    無色透明液體,在空氣中冒白煙,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性,沸點19.5℃。
    用途:
    半導體蝕刻。
    貯存:
    貯存在帶棚的庫房中。嚴禁暴曬,嚴禁與易爆物品混放。
    運輸:
    按一級無機酸性腐蝕物品對待。
    包裝:
    用中壓高純鋼瓶包裝,每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。

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