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    產品展示

    高純四氟化碳

    質量標準:

    分子式:CF4                             分子量:88.005

    項目

    指標

    四氟化碳純度(CF4) 10-2(v/v)  ≥

    99.999

    氧氣(O2) 10-6(v/v) ≤           

    1

    氮氣(N2) 10-6(v/v) ≤                                         

    4

    水分(H2O) 10-6(v/v) ≤                                           

    1

    二氧化碳(CO2) 10-6(v/v) ≤      

    1

    一氧化碳(CO) 10-6(v/v) ≤   

    0.3

    酸度(以HF計) 10-6(m/m) ≤

    0.1

    其他氟碳化合物 10-6(v/v) ≤

    1

    六氟化硫(SF6) 10-6(v/v) ≤

    1

    雜質總和 10-6(v/v) ≤                   

    10

    性狀:
    四氟化碳相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。熔點(101.325kPa):-186.8℃;沸點(101.325kPa):-128.0℃;液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m³;氣體密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m³。
    用途:
    四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻;在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于化學穩定性極強,四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。四氟化碳的溶氧性很好,被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。
    貯存:
    應存放于陰涼干燥、通風良好的場所。
    運輸:
    運輸時,四氟化碳氣瓶上應附有GB190中制定的標志。
    包裝:
    四氟化碳可用無縫鋼瓶或鋁合金容器裝運,通常采用47L、40L、10L、8L等無縫鋼瓶充裝,充裝壓力12.5MPa,也可根據客戶需要選用各種容器的氣瓶。

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